Figure 7 shows a simplified schemat

Figure 7 shows a simplified schematic of a coherence peak sensing interference microscope. The
configuration shown in Figure 7 utilizes a two-beam Mirau interferometer at the microscope objective.
Typically the Mirau interferometer is used for magnifications between 10 and 50X, a Michelson
interferometer is used for low magnifications, and the Linnik interferometer is used for high
magnifications. A separate magnification selector is placed between the microscope objective and the CCD
camera to provide additional image magnifications. A tungsten halogen lamp is used as the light source.
Light reflected from the test surface interferes with light reflected from the reference. The resulting
interference pattern is imaged onto the CCD array. Also, output from the CCD array is digitized and read
by the computer. The Mirau interferometer is mounted on either a piezoelectric transducer (PZT) or a
motorized stage so that it can be moved. During this movement, the distance from the lens to the reference
surface remains fixed. Thus, a phase shift is introduced into one arm of the interferometer. By introducing a phase shift into only one arm while recording the interference pattern that is produced, it is possible to
performe itherp hase-shiftingi nterferometry or vertical scanningc oherence peak sensing interferometry.

결과 (한국어) 1:

그림 7 일관성 피크 감지 간섭 현미경의 단순화 된 회로도 보여 줍니다. 는그림 7에 표시 된 구성과 현미경 목표에 2 빔 Mirau 간섭계를 이용 한다.일반적으로 Mirau 간섭계 사이 10 그리고 50 X는 마이켈슨 배율 사용 됩니다.간섭계는 낮은 배율 사용 및 높은 Linnik 간섭계는 사용배율입니다. 현미경 목적과 CCD 사이 별도 배율 선택 위치추가 이미지 확대를 제공 하기 위해 카메라입니다. 텅스텐 할로겐 램프는 광원으로 사용 됩니다.테스트 표면에서 반영 빛 참조에서 반영 하는 빛을 가진 방해. 그 결과간섭 패턴은 CCD 배열에 몇 군데 있습니다. 또한, CCD 배열에서 출력 디지털화 하 고 읽기컴퓨터. Mirau 간섭계 어느 압 전 트랜스듀서 (압)에 탑재 또는이동할 수 있도록 단계를 자동화 합니다. 이 운동은, 참조에 렌즈에서 거리는 동안표면에 고정 남아 있다. 따라서, 위상 변화는 간섭계의 한 팔으로 소개 된다. 생산 되는 간섭 무늬가 기록 하는 동안 단 한 팔으로 위상 변화를 도입 하 여 수는performe itherp 하 세-shiftingi nterferometry 또는 수직 scanningc oherence 피크 간섭계를 감지 합니다.

결과 (한국어) 2:

도 7은 간섭 피크 감지 간섭 현미경의 개략도를 도시한다.
도 7에 도시 된 구성은. 현미경 대물에서 두 빔 Mirau 간섭계를 이용하는
통상적 Mirau 간섭계 10 및 50 배 사이의 배율들에 대해 사용되는, 마이 켈슨
간섭계는 낮은 배율에 사용되고 Linnik 간섭계 높은 사용되는
배율. 별도의 배율 선택기 현미경 대물과 CCD의 사이에 배치되어
추가 이미지 배율을 제공하는 카메라. 텅스텐 할로겐 램프가 광원으로서 사용된다.
상기 테스트 표면은 빛이 기준으로부터 반사 된 빛과 간섭이 반영. 생성 된
간섭 패턴은 CCD 어레이 상에 묘화된다. 또한, CCD 어레이로부터의 출력은 디지털화 판독
컴퓨터. Mirau 간섭계 압전 변환기 (PZT) 또는 어느 하나에 장착되어
이 이동할 수 있도록 동력 스테이지. 이 이동시에 기준 렌즈로부터의 거리
가 고정 된 채로 유지 표면. 따라서, 위상 편이 간섭계의 하나의 암에 도입된다. 생성되는 간섭 패턴을 기록하고있는 동안 오직 하나의 아암에 위상 시프트를 도입함으로써 가능하다
피크 검출 간섭계 oherence 하세 shiftingi nterferometry 또는 수직 scanningc을 itherp performe.

결과 (한국어) 3:

그림 7 표시 하나 간소화 한 상관이 봉 유도 간섭현미경.만약 그림 7개 지시를 의
설정 적용 한두 빔 Mirau 간섭계 현미경 렌즈.
보통 Mirau 간섭계 은 10 과 50 배 사이의 확대 배율 에서는 迈克尔逊
간섭계 낮은 데 확대 및 Linnik 간섭계 네 높은
쓰인다확대.별도의 확대경 선택 아주 현미경 카메라 렌즈 및 CCD 사이의
제공 추가 이미지 확대.텅스텐 할로겐 램프 로서 광원.
반사 광선 간섭 테스트 표면의 반사광 에서 참고.여기에서 발생하는
겹침을 영상화 까지 CCD 배열.동시에에서 CCD 배열 것은 디지털화 읽기
by 컴퓨터 출력.Mirau 간섭계 것은 설치 한 전기 세라믹 (PZT) 또는
모터리제이션 단계, 그것은 이동할 수 있다.이 운동은 에서 부터 렌즈 참고
표면 거리 까지 고정되어 있다.그래서 도입 서로 옮겨 간섭계 한 팔.통해 서로 이동 도입 한 손으로 까지 인해 방해를 모드 생산 기록, 그것은 가능한
진행 itherp 서로 shiftingi nterferometry 또는 수직 scanningc oherence 봉 유도 간섭하다.