To visualize microscopic structures

To visualize microscopic structures, it is necessary to combine an interferometer with the optics of a microscope. Such an arrangement is shown in Figure 3. This setup is similar to a standard optical microscope. The only differences are an interferometric objective lens and an accurate positioning stage (a piezoelectric actuator) to move the objective vertically. The optical magnification of the image on the CCD does not depend on the distance between tube lens and objective lens if the microscope images the object at infinity. The interference objective is the most important part of such a microscope. Different types of objectives are available. With a Mirau objective, as shown in Figure 3, the reference beam is reflected back in the direction of the objective front lens by a beam splitter. On the front lens there is a miniaturized mirror the same size as the illuminated surface on the object. Therefore, for high magnifications, the mirror is so small that its shadowing effect can be ignored. Moving the interference objective modifies the length of the measurement arm. The interference signal of a pixel has maximum modulation when the optical path length of light impinging on the pixel is exactly the same for the reference and the object beams. As before, the z-value for the point on the surface imaged by this pixel corresponds to the z-value of the positioning stage when the modulation of the correlogram is greatest.

결과 (한국어) 1:

미세한 구조를 시각화 하는 간섭계는 현미경의 광학 결합 하는 데 필요한입니다. 이러한 합의 그림 3에 표시 됩니다. 이 설치 프로그램은 표준 광학 현미경. 유일한 차이점은 간섭 대물 렌즈와 목표를 수직으로 이동 하는 정확한 위치 단계 (압 전 액츄에이터). CCD에 이미지의 광학 배율 현미경 이미지 개체 무한에서 하는 경우 튜브 렌즈와 대물 렌즈 사이 거리에 달려 있지 않는다. 간섭 목적은 이러한 현미경의 가장 중요 한 부분입니다. 목표의 다른 유형을 사용할 수 있습니다. Mirau 목적으로 그림 3에 표시 된 대로 참조 빔에에서 반영 됩니다 다시 객관적인 전방 렌즈의 방향 빔 스플리터에 의해. 전면 렌즈에 소형된 거울 조명된 표면 개체에 같은 크기 있다. 따라서, 높은 배율에 대 한 거울이 작습니다 그래서 그것의 숨기 효과 무시할 수 있습니다. 간섭 목표 이동 측정 팔 길이 수정 합니다. 픽셀의 간섭 신호는 최대 변조 때 픽셀에 impinging 빛의 광 경로 길이 정확 하 게 참조와 개체 빔입니다. 로 전에,이 픽셀에 의해 몇 군데 표면에 지점에 대 한 z 값 해당 위치 단계에 대 한 z 값에는 correlogram의 변조는 최고의 때.

결과 (한국어) 2:

미세 구조를 시각화하기 위해, 현미경 광학 간섭계를 결합 할 필요가있다. 이러한 배열이 설정은 표준 광학 현미경과 유사 그림 3에 표시됩니다. 유일한 차이는 간섭 대물 렌즈를 수직으로 목표를 이동하는 정확한 위치 단계 (압전 액츄에이터)입니다. CCD에 광학 이미지의 배율 현미경 이미지 무한 객체 만약 튜브 렌즈와 대물 렌즈 사이의 거리에 의존하지 않는다. 간섭 대물 렌즈는 현미경의 가장 중요한 부분이다. 목표의 다른 유형을 사용할 수 있습니다. 도 3에 도시 된 바와 같이 Mirau 목적으로, 기준 빔은 빔 스플리터에 의해 상기 대물 렌즈의 전면 방향으로 다시 반사된다. 전방 렌즈 소형화 미러에 조명 된 물체 표면과 같은 크기가있다. 따라서, 고배율 위해 미러는 음영 효과가 무시 될 수있는 정도로 작다. 간섭 대물 렌즈를 이동하면 측정 아암의 길이를 변경한다. 화소의 간섭 신호가 픽셀에 충돌하는 광의 광로 길이가 정확히 참조 및 대상 빔에 대해 동일한 최대 변조를 갖는다. correlogram의 변조가 큰 경우에는 이전과 같이,이 픽셀에 의해 촬상 표면상의 지점에 대해, Z 값은 위치 결정 스테이지의 Z 값에 대응한다.

결과 (한국어) 3:

시각화 미시적 구조, 그것은 필요한 간섭계, 광학 현미경 결합.이렇게 스케줄 같은 그림 3 개 주시기 바랍니다.이런 것은 유사한 기능을 설정 한 표준 광학 현미경.유일한 차이가 한 간섭 렌즈, 한 정확한 위치 단계 (전기 致动器) 이동 목표 수직.이 그림의 CCD 광학 확대 배율 현미경 그림 있는지 여부를 무한히 먼 대상 달려있다 파이프 렌즈 및 오브젝티브 사이의 거리.방해 목적은 이런 현미경은 중 가장 중요한 부분이다.다른 종류 목표는 사용할 수 있습니다.지금 Mirau 목표 같은 그림 3 개 주시기 바랍니다참고 빔 있는 분 빔 그릇 객관적인 카메라 앞 쪽으로 반사.은 카메라 앞에서 한 미니 반사경 사이즈 표면 조사 물체 같다.그래서 고배율의 확대경, 아주 작은 수 그 차폐 효과 무시합니다.운동 목표 방해 대한 측정 팔 길이.한 화소 간섭신호 가지고 최대 변조 되고 빛이 비치다 화소 광학 경로 길이 완전히 같은 참고 물체와 광속.예전처럼, Z 값 겉으로 좀 영상화 위해 픽셀 대응 위치 단계의 Z 값 관련 지도 변조 때 최대.